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检测能力

A.外形尺寸公差检测(Zeiss 三坐标)

 

CARL ZEISS UPMC ultra

蔡司三坐标检测仪

特征用途:

CNC控 制的超精密测量仪及通用高速扫描探头,具 有极低的测量不确定性,特 别适于超高精度测量。桥 式中枢驱动是用于测量样机、体积零件、平板和空间曲面的3D精密测量的理想设计,可以实现大尺寸,高 精度的三维立体检测,代 表目前国际先进水平。

 

规格性能:

1、量程为850×1150×600 mm

2、最大允许示值误差1D=0.3-0.4 um

3、最大允许探测误差0.5 um

4、扫描探测误差1.4 um in 88s

5CMM质量:约4000 kg

6、 最大工件重量:1000 kg

 

优点:

1、计算机辅助误差修正,测量快速精确

2、具有高效抗震系统,不易受周围环境影响

3、采用VAST技术的扫描装置

 

B、面型检测

 

(一)平面、球面(Zygo干涉仪 GPI

 

Zygo GPI XP 激光干涉仪

特征用途:

用 于球面或平面表面的精确测量以及光学系统传输波阵面质量的测试。适 用于稳定的或有微小振动的环境,为 光学产品生产和质量控制提供有效的检测,其 检测结果具有国际权威性。

 

规格性能

1、使用氦氖激光,工作波长为632.8nm,平面最大可测量口径150mm

2、空间取样1K×1K象素,数据采集时间65ms

3、三平面测试重复精度2.0nm,粗糙度重复精度0.1 nm

4、分辨率优于l/8000

 

(二)、非球面(Taylor Hobson轮廓仪、zygo verify非球面测量中心)

 

Zygo VeriFire 非球面干涉仪

特征用途:

主 要应用于光学非球面镜片面型的非接触快速高精度三维测量,对 光学和超精密机械零件表面的检测和生产过程进行控制。也 可应用于球面和平面面型及曲率半径的超精密测量。克 服了目前非球面有损检测的问题,真 正意义上实现了非球面全口径无损化检测。

 

规格性能:

1632.8 nm激光移相式干涉仪,配1米干涉长度测量系统

2、简单重复精度3 nm,表面测量重复精度10 nm

3、分辨率0.08 nm,被测件直径1 mm-130 mm

4、测量口径102 mm,变倍比61

5、可测非球面坡度达800 μm

 

Taylor Hobson Form Talysurf PGI-1250A 光学非球面测量系统

特征用途:

采用接触式测量技术,对光学平面、球面、非 球面进行高精度测量,适 于各类非球面及自由面的面型测量。

 

规格性能:

1200mm x 12.5mm的测量范围,12.5mm Z向量程(标准量程)

20.8nm的传感器分辨率,直线度≤110nm/200mm

35080nm的形状误差能力

4、表面粗糙度测量至4 nm

 

优点

1、具有强大的2D3D多种软件,可 完成非球面形状参数和粗糙度参数分析,进 行实际形状与理论形状比较分析

2、高精度的测量系统,形状误差精度更高

3、制 造过程中的连续监控

 

C、表面微结构、粗糙度检测(Zygo Newview白光干涉仪)

 

Zygo NewView 7300光学轮廓仪

特征用途:

采 用快速非接触测量技术,对 产品非球面表面面型以及微观三维表面型貌进行定量分析和检测。

 

规格性能:

1、垂直扫描最大可达150um,扫描速度可达15um/sec, 水平视场最大7×5mm

2、垂直分辨率0.1nm,横 向分辨率依被测表面为0.36um5.18um

3、粗糙度重复精度0.01 nm,台阶高度重复精度0.1%

 

优点:

1、操作简单,测量快速,非 接触测量确保被测表面不被破坏。

2亚埃级垂直分辨率,测量功能强大。

3、操作台简洁紧凑。

 

D、偏心仪

LensCT 偏心仪

特征用途:

以 非接触无损伤的测量方式对透镜(或透镜组)的 有效焦距和偏心量进行精确测量。可 用于透镜装配中单透镜的功能指标和装配精度进行检测和控制。主 要应用于单透镜及胶合透镜偏心误差定量测量,镜 头组机械同轴度检测适用于小孔径短焦距透镜的测量和大曲率(长焦距)腔镜偏心测量。

 

规格性能:

1、测量精度:0.2um(3)

2、测量焦距范围(mm):±1~±450

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